Москва, ул. Краснобогатырская, 89с1
Анализаторы моделей этой серии 5910 UHP и 5920 UHP предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых в производстве электронных компонентов. Анализаторы используют пьезокристаллический принцип измерения. Для проверки правильности показаний на потоке анализаторы оснащены встроенной системой коррекции нуля, а также генератором влажности, работающим в диапазоне единиц ppb и использующим изменение температуры для создания необходимого уровня влажности. Возможно исполнение анализаторов для монтажа в стойку 19" для работы в системах подачи газовых смесей.
Анализаторы могут быть использованы и для других задач, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.
Особенности
- Быстрый отклик
- Высокая чувствительность и низкая погрешность в диапазоне ppb
- Совместимость с большинством газов, используемых при производстве микросхем, включая кислород, водород и их смеси
- Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности
Основные технические характеристики
| Диапазон измерения | от 0...170 ppbv до 0...1000 ppbv |
| Погрешность* | ±100 pptv или ±10% показания, что больше |
| Параметры анализируемого газа | давление: 50...700 кПа; температура: 0...100°С |
| Габариты, мм | 480 х 180 х 509 |
| Масса, кг | 16 |
* - по данным Изготовителя
