Анализаторы влажности газов серии 5900UHP

Анализаторы моделей этой серии 5910 UHP и 5920 UHP предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых в производстве электронных компонентов. Анализаторы используют пьезокристаллический принцип измерения. Для проверки правильности показаний на потоке анализаторы оснащены встроенной системой коррекции нуля, а также генератором влажности, работающим в диапазоне единиц ppb и использующим изменение температуры для создания необходимого уровня влажности. Возможно исполнение анализаторов для монтажа в стойку 19" для работы в системах подачи газовых смесей.

Анализаторы могут быть использованы и для других задач, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.

Особенности

  • Быстрый отклик
  • Высокая чувствительность и низкая погрешность в диапазоне ppb
  • Совместимость с большинством газов, используемых при производстве микросхем, включая кислород, водород и их смеси
  • Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности

Основные технические характеристики

Диапазон измерения от 0...170 ppbv до 0...1000 ppbv
Погрешность* ±100 pptv или ±10% показания, что больше
Параметры анализируемого газа давление: 50...700 кПа; температура: 0...100°С
Габариты, мм 480 х 180 х 509
Масса, кг 16

* - по данным Изготовителя

Технические характеристики